半导体行业专用HAST老化箱

半导体行业专用HAST老化箱生产厂家广东皓天检测仪器有限公司拥有专业的生产研发技术，一站式周到服务。作为一家专注于试验设备产品的大型仪器制造商，皓天设备致力于为消费者提供技术、品质的优秀产品。

一、 产品详情与用途
本产品是专为半导体行业（如集成电路、芯片、封装、功率器件等）设计的高可靠性测试设备。它通过创造高温（通常105-150℃）、高湿（可达100%RH）及高压力（高3个大气压）的非饱和或饱和蒸汽环境，对半导体器件进行加速老化测试。其核心用途是在短时间内（几十至几百小时）模拟并揭示产品在长期（数年）使用中可能出现的由湿气侵入、腐蚀、离子迁移等引起的失效模式，从而快速评估其封装可靠性、材料稳定性及使用寿命，是提升产品良率、缩短研发周期的关键设备。

半导体行业专用HAST老化箱

二、 主要技术参数

• 温度范围：+105℃ ~ +150℃（可定制更高）

• 湿度范围：75% ~ 100% RH

• 压力范围：常压 ~ 0.3MPa

• 升温时间：从常温至130℃ < 40分钟

• 温度均匀度：≤±1.0℃

• 压力控制精度：±2kPa

• 内箱容积：标准50L/100L/150L（可按需定制）

• 电源：AC380V / 50Hz 三相五线制

三、 箱体结构与材质

• 外箱材质：优质A3钢板，表面静电喷塑，防腐耐用。

• 内箱材质：采用SUS316L高级不锈钢板，具备优异的抗高温、高湿、高压及耐腐蚀性能，确保长期稳定运行且无污染。

• 保温层：高强度聚氨酯泡沫整体发泡，厚度≥100mm，确保高效保温与节能。

• 密封门：双道耐高温、耐高压硅橡胶密封条，配备高强度门锁与泄压安全机构。

• 样品架：不锈钢多层可调式载物架，承重性强，通风设计合理。

四、 产品特点

1. 高安全性：具备超压、超温、漏电、缺水、过流等多重安全保护与报警功能。

2. 高精度控制：采用进口高精度温湿度传感器与PLC+触摸屏智能控制器，确保压力、温度、湿度的精确、稳定与可重复性。

3. 抗腐蚀设计：所有与蒸汽接触的部件均采用耐腐蚀材料，延长核心部件寿命。

4. 快速稳定：优化的加热与加湿系统，能快速达到并稳定在设定测试条件。

5. 数据追溯：标配USB或以太网接口，可全程记录、存储和导出测试数据与曲线。

五、 风道系统
采用顶部水平送风、底部回风的科学循环风道。配合大功率耐高温长轴离心风机，保证箱内温湿度及压力的高度均匀性。风道经过CFD模拟优化，风速柔和均匀，避免对小型器件造成冲击。

六、 安装与调试
设备为一体化结构，到位后只需连接电源、排水管和纯水/去离子水水源（电阻率≥0.5MΩ·cm）即可。我司工程师将提供现场安装、调试及操作培训服务，确保设备正常运行并满足用户测试要求。

七、 售后服务
提供壹年整机质保，核心部件提供更长保修期。提供724小时技术咨询，承诺48小时内提供明确的故障解决方案。定期提供设备维护建议及软件免费升级服务。

八、 结构设计
整机采用人性化人机工程学设计。控制器位于设备正面中上部，观察窗带照明灯，便于操作与观察。管路与电气系统模块化布局，便于维护检修。紧凑的占地面积设计，充分考虑了半导体洁净车间或实验室的空间利用率。